差壓式氣體質(zhì)量流量控制器簡要描述:氣體質(zhì)量流量控制器通過測量層流元件的差壓、壓力、溫度來計算流量。 將計算流量值與設(shè)定流量值進(jìn)行比較,采用 PID閉環(huán)控制調(diào)節(jié)閥門，使流過通道的流量與設(shè)定的流量相等。具有固有的線性,重復(fù)性好,精度高,無需預(yù)熱,溫漂小等特點。為模擬和數(shù)字兼容型，可通過模擬型二次表或PLC進(jìn)行設(shè)定和顯示瞬時流量，也可以通過RS485接口直接與計算機(jī)進(jìn)行通訊。
LF-YC差壓式氣體質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品特點:
固有的線性，精度高
穩(wěn)定性好，重復(fù)性好
可選模擬電路、數(shù)字電路
響應(yīng)速度快，無需預(yù)熱
溫漂小
產(chǎn)品用途: 廣泛用于電子工藝設(shè)備、真空鍍膜、石油化工、冶金、制藥、光纖熔煉、分析測量儀器、制氣配氣等行業(yè)。
技術(shù)指標(biāo)
| 產(chǎn)品型號 | LF420-YC | LF485-YC |
| 量程范圍 | 5SCCM-300SLM |
| 測控范圍 | 控制器50:1???????????????????流量計100:1 |
| 準(zhǔn) 確 度 | ±1.0% F.S |
| 線 ???性 | ±0.5% F.S |
| 重復(fù)精度 | ±0.2% F.S |
| 響應(yīng)時間 | 100ms | 100ms |
| 數(shù) 字 量 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
| 模 擬 量 | DC 0-5V，4-20mA（負(fù)載< 500Ω）可選 |
| 供 ???電 | DC +15V/+24V可選，控制器< 200mA,流量計< 50mA |
| 工作溫度 | 0-50℃ |
| 工作壓力 | 工作壓差0.1-0.5MPa | 工作壓降 < 0.01MPa |
| 最大耐壓 | 1MPa |
| 電氣連接 | DB15 |
| 漏 ???率 | 1×10-8SCC/s He |
| 底座材質(zhì) | 316L不銹鋼或者鋁合金 |
| 密封材料 | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
| 氣路接頭 | 標(biāo)配Swagelok ￠6 |