硅碳棒元件質地:硬而脆,耐急冷急熱,高溫下不易變形,其它物理性能如下:
導熱系數:20大卡/米·小時·度
線膨脹系數:5×10-6(m/℃)
化學性質
硅碳棒有良好的化學穩定性,抗酸能力強。在高溫條件下堿性物質對其有侵蝕作用。
硅碳棒元件在1000℃以上長期使用能與氧氣和水蒸氣發生如下作用:
①Sic+2O2→Sio2+CO2 ②Sic+4H2O=Sio2+4H2+CO2
致使元件中SiO2含量逐漸增多,電阻隨之緩慢增加,為之老化。如水蒸氣過多,會促進SiC氧化,由②式反應產生的H2與空氣中的O2結合H2O再反應產生惡性循環。降低元件壽命。氫氣
(H2)能使元件機械強度降低。氮氣(N2)在1200℃以下能防止SiC氧化1350℃以上與SiC發生反應,使SiC分解氯氣(Cl2)能使Sic完全分解。